中圖儀器SuperViewW白光干涉三維光學形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
CEM3000系列國內(nèi)高分辨力掃描電鏡運用了快速抽放氣設計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準調節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,滿足不同樣品的觀測需求。此外,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學、生命科學、納米技術、能源等多個領域得到了廣泛應用。
CEM3000系列國產(chǎn)掃描電子顯微鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
不同于立式電鏡,中圖儀器鎢燈絲掃描電鏡CEM3000系列無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,展現(xiàn)出色的性能。
NS系列國產(chǎn)高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執(zhí)行換針操作時,可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。
中圖儀器VT6000系列3D高精度共聚焦顯微鏡集成X\\Y\\Z三個方向調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。儀器以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。
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